1月10日，國家科學技術獎勵大會在北京舉行，華潤微電子有限公司旗下無錫華潤上華科技有限公司（“華潤上華”）參與的“高性能MEMS器件設計與制造關鍵技術及應用”項目獲國家科學技術進步獎二等獎。
該項目由東南大學、江蘇英特神斯科技有限公司、無錫華潤上華科技有限公司三家單位合作完成。項目成果針對中國微機電系統（MEMS）產業鏈關鍵技術問題，系統研究開發了MEMS設計技術與設計工具、制造工藝和在線檢測以及高性能壓力傳感器技術，推動了中國MEMS技術的產業化發展。
該成果形成了高精度硅各向異性腐蝕模擬、厚膠光刻工藝模擬、工藝流程模擬等11個軟件模塊，實現了商業化，國內用戶40余個，遠銷美國、日本等。關鍵技術已應用于華潤上華規?；a線，形成批量生產能力并為國內外用戶代工超過10萬片，支撐了壓力傳感器系列、麥克風系列等MEMS器件生產，產品已在智能電子、工業控制、環境監測等領域廣泛應用。
在該項目中，華潤上華具體開發了MEMS表面加工、體加工、鍵合加工等成套制造工藝技術及檢測技術，優化了制造工藝及流程，實施了MEMS生產制造工藝、在線檢測技術以及代工服務。硅基MEMS制造工藝模擬及工藝優化技術大大減少了工藝條件和參數的反復試驗，降低了工藝開發成本并優化了工藝條件及其流程，縮短了制造工藝開發周期。
“MEMS有極強的應用滲透力，但是中國的MEMS產業化發展較慢，設計與制造核心技術被國外壟斷?！比A潤上華副總經理蘇巍表示，“我們樂見公司在MEMS領域耕耘多年的成果，也非常樂于繼續攜手產業鏈伙伴為實現MEMS的國產化而努力。目前，華潤上華MEMS工藝技術正依計劃由成熟的6英寸向8英寸轉移，期待能為更多IC設計公司提供MEMS產品服務?！?/p>
關于華潤微電子有限公司（China Resources Microelectronics Limited (“CR Micro”)
華潤微電子是中國領先的擁有芯片設計、晶圓制造、封裝測試等全產業鏈以IDM模式為主運營的半導體企業，自2004年起，華潤微電子連續被工信部評為中國電子信息百強企業。公司主營業務分為產品與方案、制造與服務兩大業務板塊，目前已形成無錫、上海、重慶和深圳協同發展的多區域業務布局，在主要的業務領域均掌握了一系列具有自主知識產權、技術水平國內領先的核心技術。公司聚焦于功率半導體、智能傳感器領域，為客戶提供系列化的半導體產品與服務，矢志成為世界領先的功率半導體和智能傳感器產品與方案供應商。欲知更多詳情請瀏覽：www.zonghejiuye.com
